如何选择合适自己的压电纳米定位台

2020年09月15日 18:49:48 人气: 1198 来源: 哈尔滨芯明天科技有限公司

压电纳米定位产品具有纳米级分辨率及定位精度，集成到各种相关仪器及机械设备中，从而实现高精度纳米级定位与运动。了解压电纳米定位台的基本工作原理及性能，来选择适合您应用的压电纳米定位台吧。

什么是压电纳米定位台？

压电纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X/Z/XY/XZ/XYZ轴精密运动的压电平台。运动范围大可达375μm，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有*的可靠性，压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。

压电纳米定位台性能

压电纳米定位台采用无摩擦柔性铰链导向机构，可实现亚纳米级分辨率。芯明天N60.X系列压电纳米定位台，配套E53系列压电控制，可实现0.5nm的步进分辨率。

芯明天快速刀具定位台采用大出力压电陶瓷，大出力可达几千牛顿，广泛应用于精密加工等领域。压电纳米定位台由容性压电陶瓷驱动，响应时间可快至毫秒级。芯明天N65系列纳米定位台配套大功率E00/E01系列压电控制器，可实现满幅值阶跃时间为1.5ms。平台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。芯明天压电纳米定位产品标准驱动电压为0~120/150V，可产生大375μm位移行程。同时可以根据要求定制其他电压驱动版本。

驱动控制系统

芯明天压电陶瓷控制器通过模拟输入或数字输入控制，具有功率放大功能，且输出电压、输出频率可调。多种通道数及功能可选，可驱动各种压电类产品，同时也可根据应用需求提供定制服务。

应用到那些领域

压电纳米定位台带动镜片做精密运动，配合显微镜完成对光纤端面质量的干涉检测实验。

利用快速刀具定位器超精密制造技术，实现光学非球面、自由曲面、微结构与其阵列的元件及模具纳米级超精密加工。

闭环纳米定位台与原子力显微镜相结合，可以实现375μm的扫描范围，分辨率为亚纳米级，响应时间可达亚毫秒。

Z向压电纳米定位台的作用是做纳米级的微运动，精确调整待测物的位置，从而改变对应条纹的宽度及位置，以达到更精确的表面测量。

关键词：压电纳米定位台

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